Vakuumska peć, odnosno u određenom prostoru komore peći, vakuumski sustav (pažljivo sastavljen od vakuumske pumpe, uređaja za mjerenje vakuuma, vakuumskog ventila i drugih komponenti) služi za ispuštanje dijela tvari u komoru peći, tako da tlak u komori peći manji je od standardnog atmosferskog tlaka, a prostor u komori peći se koristi za postizanje stanja vakuuma, što je vakuumska peć.
Vakuumska peć je uređaj koji se zagrijava u vakuumskom okruženju. Komora peći je cijevima povezana sa sustavom pumpe visokog vakuuma u peći zatvorenoj poklopcem od metala ili kvarcnog stakla. Stupanj vakuuma u peći može doseći 133×(10-2~10-4)Pa. Sustav grijanja u peći može se izravno zagrijavati električnim zagrijavanjem otporne žice peći (kao što je volframova žica) ili se može zagrijavati visokofrekventnom indukcijom. Maksimalna temperatura može doseći oko 3000 stupnjeva. Uglavnom se koristi za pečenje keramike, vakuumsko taljenje, otplinjavanje i žarenje električnih vakuumskih dijelova, lemljenje metalnih dijelova i brtvljenje keramike i metala.
