Vakuumske peći su vakuumske peći za toplinsku obradu, koje se dijele prema opremi za primjenu i uključuju sljedeće vrste:
Vakuumska peć za kaljenje, vakuumska peć za tvrdo lemljenje, vakuumska peć za žarenje, vakuumska peć za magnetizaciju, vakuumska peć za kaljenje, vakuumska peć za sinterovanje, vakuumska peć za difuzijsko zavarivanje, vakuumska peć za karburizaciju, itd.
Prema načinu grijanja, vakuumske peći se dijele na vakuumske otporne peći, vakuumske indukcijske peći, vakuumske elektrolučne peći, vakuumske samopotrošne elektrolučne peći, peći s elektronskim snopom (također poznate kao peć za elektroničko bombardiranje) i plazma peći.