1200C PECVD sustav s tri zone grijanja
1200C PECVD sustav s tri zone grijanja

1200C PECVD sustav s tri zone grijanja

SK2-CVD-12TPB4 je cijevna peć za PECVD sustav, koja se sastoji od RF napajanja od 300 W ili 500 W, višekanalnog sustava preciznog protoka, vakuumskog sustava i cijevne peći. Uobičajeno korištena temperatura je 1100 stupnjeva Celzija ili niža, a njegove glavne karakteristike su niska temperatura taloženja, brza brzina, dobra kvaliteta filma, manje rupica i manja sklonost pucanju. Idealan uređaj za uzgoj nanožica ili pripremu raznih tankih filmova CVD metodom.
Pošaljite upit
Značajka

 

● Maksimalna temperatura RT-1200 stupnjeva

● Split tip peći, možete otvoriti peć.

● Može unijeti više od 2 kanala plina, sa stupnjem vakuuma od 10 Pa pomoću mehaničke pumpe i RF napajanja od 500 W za poboljšanje signala.

● Izolacijski materijali od aluminijevih keramičkih vlakana visoke kvalitete

● Točnost kontrole temperature ±1 stupanj

● S funkcijom alarma prekomjerne temperature

● Ventilator za hlađenje može smanjiti temperaturu kućišta

 

Model

SK2-CVD-12TPB4

Dimenzije: Standardna duljina zone grijanja (mm)

440 mm

Dimenzije: standardni promjer cijevi (mm)

∮60 mm

Max.temperatura

1200 stupnjeva, Kontinuirana radna temperatura 1100 stupnjeva.

Napon (V)

220 1P

Tip termoelementa

K

Grijaće tijelo

HRE Otporna žica od legure

Preciznost temperature

±1 stupanj

Stopa zagrijavanja

0-30 stupanj/min besplatno podešavanje

Materijal komore

Korištenje naprednog visokokvalitetnog materijala od mikrokristalnih vlakana glinice

Struktura peći

Dvoslojna struktura hlađena zrakom, površinska temperatura je manja od 60 stupnjeva

Regulator temperature

Inteligentni PID instrument za kontrolu temperature, 30 programskih segmenata, SSR kontrola, funkcija samopodešavanja PID parametara; program porast temperature, program očuvanje topline, program hlađenje

500W RF napajanje

Izlazna snaga: 5-500W ±1 stupanj

RF frekvencija: 13,56MHz ±0.005%

Reflektirana snaga: do 100W

Podudaranje: Automatski

RF sučelje: 50Ω, N-tip

Hlađenje: hlađenje zrakom

Napajanje: AC 208-240V, 50/60HZ

Sustav preciznog protoka s 4 plinska kanala

1. Puna brzina protoka (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10L/min.

2. Vrsta ventila: Solenold ventil.

3. Mirovni položaj ventila: normalno zatvoren.

4. Diferencijalni tlak: (50-300)kpa

5. Otpornost na pritisak: 3mpa.

6. Radna temperatura: 5-45 stupnjeva

7. Materijali: nehrđajući čelik 316L.

Vakuumski sustav

5*10-3Pa

KF25 brzi spoj, mijeh od nehrđajućeg čelika, ručni zaklopni ventil i prirubnica, vakuumska pumpa

Opcijski se mogu opremiti i sustavi s višim vakuumom.

image001

DOBRO DOŠLI OEM/ODM

 

Standardni pribor

 

Termo rukavice|Kuka za lončić|Termopar|Cijevni blok|Korisnički priručnik |Alati|Vakuumska pumpa| Kvarcna cijev|Prirubnica|Brtveni prsten|Plinsko crijevo od 10 mm|Nosač prirubnice, Plinski sustav, RF napajanje.

 

Neobavezno

 

Različita zona grijanja po vašem izboru;

Kontrola LCD zaslona osjetljivog na dodir za odabir

RS485/USB priključak za povezivanje računala po izboru.

 

Detaljna slika za CVD-PECVD

 

image003
500W RF napajanje
image005
Vakuumski sustav
image007
Sustav preciznog protoka s 4 plinska kanala

 

Primjena

 

Ovaj uređaj se uglavnom koristi za uzgoj nanožica ili pripremu različitih rasta tankih filmova pomoću CVD metode.

 

Jamstvo

 

Jednogodišnje jamstvo i doživotna tehnička podrška

Posebni savjeti:

1. Potrošni materijal kao što je grijaći element, kvarcna cijev, lončić za uzorke itd. nije unutar jamstvenog roka.

2. Oštećenja uzrokovana korištenjem korozivnog plina i kiselog plina nisu pokrivena jamstvom.

 

Popularni tagovi: 1200c sustav pecvd s tri zone grijanja, Kina 1200c sustav pecvd s tri zone grijanja proizvođači, dobavljači