CVD cijevna peć (Chemical Vapor Deposition)-poznata kao cijevna peć za kemijsko isparavanje-vrsta je opreme za toplinsku obradu koja se naširoko koristi u područjima znanosti o materijalima i inženjerstvu. Njegove primarne upotrebe i funkcije uključuju:
Rast materijala i taloženje:
Uvođenjem plinske smjese u peć, CVD cijevna peć olakšava razgradnju plinova na visokim temperaturama. Dobiveni atomi ili molekule zatim se talože na čvrstu podlogu, čime se omogućuje proizvodnja tankih filmova, nanočestica i drugih naprednih materijala.
Toplinska obrada:
Uz taloženje materijala, CVD cijevna peć može se koristiti za razne toplinske obrade-kao što je kalcinacija praha, sinteriranje keramike, eksperimentiranje na visokim-temperaturama i općenita obrada materijala-u širokom rasponu materijala, uključujući keramiku, metale, elektroniku, staklo, kemikalije, komponente strojeva, vatrostalne materijale, specijalne materijale i građevinske materijale.
Priprema tankog filma:
To uključuje pripremu metalnih filmova, poluvodičkih filmova, optičkih filmova i sličnih materijala. Preciznim kontroliranjem reakcijskih uvjeta i dovoda materijala mogu se dobiti tank{1}}slojni materijali koji posjeduju specifična svojstva i strukture.
Priprema nanomaterijala:
Peć omogućuje proizvodnju nanomaterijala kao što su nanočestice i nanožice. Prilagodbom reakcijskih parametara i materijala supstrata mogu se sintetizirati nanomaterijali različitih morfologija i dimenzija.
Primjene u industriji poluvodiča:
U industriji poluvodiča,CVD cijevne pećiigraju ključnu ulogu u kritičnim procesima kao što su taloženje-tankog filma, čišćenje pločica i obrada površine.
Metalurgija praha:
Oprema je primjenjiva u području metalurgije praha, gdje olakšava stvaranje metalnih ili keramičkih materijala reakcijama plin-faze.
Priprema optičkog materijala:
Omogućuje sintezu prozirnih optičkih materijala, koji se kasnije koriste u proizvodnji optičkih uređaja, optičkih premaza i sličnih komponenti.
Strukturni dizajn:
Tijelo peći CVD cijevne peći obično ima strukturu s dvo-ljuskom.
Ventilator za hlađenje ugrađen je unutar šupljine između unutarnje i vanjske ljuske kako bi se omogućili brzi ciklusi zagrijavanja i hlađenja, a istovremeno osigurava da temperatura površine ljuske peći ostane niska.
Sama cijev peći obično je izrađena od materijala visoke-čistoće (kao što je korund visoke-čistoće).
Oba kraja cijevi zabrtvljena su visoko-vakuumskim prirubnicama od nehrđajućeg čelika kako bi se osigurala-nepropusnost za plin i robusna otpornost na-visoku temperaturu.
Kontrola temperature i atmosfere:
Sustav je sposoban precizno kontrolirati unutarnju temperaturu i atmosferski sastav unutar peći kako bi zadovoljio specifične zahtjeve različitih materijala i protokola obrade.
Opremljen je preciznim sustavom kontrole protoka plina (kao što su ručni mjerači protoka s plovkom ili visoko-precizni regulatori protoka mase) kako bi se zadovoljili specifični zahtjevi procesa povezani s različitim zaštitnim atmosferama. Visoka učinkovitost i ušteda energije:
Koristi visoko{0}}učinkovite,-materijale za oblaganje peći koji štede energiju (kao što su polikristalna aluminijeva vlakna) za povećanje učinkovitosti iskorištavanja energije.